产品中心
行业应用
服务与支持
资讯
知识中心
关于我们
联系我们
400-080-3885
中文
English
传感器
3D线激光测量仪 AR系列
激光位移传感器 SL系列
3D线光谱共焦传感器 AS系列
光谱共焦位移传感器 AP系列
影像测量/闪测仪
一键式影像测量仪 FM系列
粗糙度/台阶/三维形貌/厚度测量
白光干涉仪 AM7000系列
白光干涉仪 AM8000系列
晶圆三维量测 WPM系列
晶圆三维检测 WM系列
封装基板3D自动检测设备 Elite Pro系列
晶圆厚度/TTV/翘曲自动测量设备 APS系列
显微镜/数码显微镜
超景深数码显微镜 AH系列
膜厚/周期性3D结构测量
薄膜厚度测量仪 AF系列
衍射三维形貌仪 NM系列
行业
新能源
3C消费类
半导体
材料
工具
精密光学
精密加工
显示面板
医疗
摩擦磨损
微纳加工
汽车
应用
粗糙度
高度/高度差
三维形貌
三维尺寸
摆动震动
定位
二维尺寸
膜厚
平面度
厚度
台阶高度
二维轮廓
样机演示/测试
下载中心
售后服务
公司新闻
行业案例
知识科普
科普视频
机械加工入门
几何公差学习
测量知识
粗糙度学习
优可测产品知识
半导体制造入门
公司简介
企业文化
发展历程
荣誉资质
合作客户
人才招聘
首页
产品中心
传感器
影像测量/闪测仪
粗糙度/台阶/三维形貌/厚度测量
显微镜/数码显微镜
膜厚/周期性3D结构测量
行业应用
行业
应用
服务与支持
样机演示/测试
下载中心
售后服务
资讯
公司新闻
行业案例
知识科普
科普视频
知识中心
机械加工入门
几何公差学习
测量知识
粗糙度学习
优可测产品知识
半导体制造入门
关于我们
公司简介
企业文化
发展历程
荣誉资质
合作客户
人才招聘
联系我们
首页
-
产品中心
-
粗糙度/台阶/三维形貌/厚度测量
-
晶圆三维量测 WPM系列
产品对比
返回列表
晶圆三维量测 WPM系列
粗糙度/台阶/三维形貌/厚度测量
概述
产品特性
应用示例
下载
马上咨询
晶圆三维量测 WPM系列
粗糙度/台阶/三维形貌/厚度测量
概述
产品特性
应用示例
下载
马上咨询
晶圆三维量测 WPM系列
晶圆三维量测系统一站式满足全流程测量需求
粗糙度
膜厚
三维形貌
高度差
白光干涉、光谱反射、光谱共焦三合一! 编程测量:智能阵列、自动测量,自动对焦,自动定位Data Feedback数据库管理; 易用性高,自动重测,数据统计分析更多分析功能,报告一键生成; 更多功能:数据统计分析等精益制造模块支持定制开发。
产品手册
马上咨询
产品特性
01
丰富的测量功能
粗糙度/膜厚/台阶高度/关键尺寸/Warpage /Bow / Stress/
02
超高测量精度
形貌重复性
0.03 nm
台阶高度准确性
0.3%
XY最高重复精度
0.19μm
03
超高检测效率
超快扫描速度:是传统机型的
5
倍
全自动测量:在线编程设定,自动测量
离线分析:原始数据可二次特定分析
应用示例
晶圆检测
质膜厚度
粗糙度
CMP表面轮廓度
Wafer Warp/Bow/TTV/Stress
CD/RDL/EBR宽度
Pilar/RDL高度
Bump尺寸
套刻精度
下载
一站式晶圆三维量测解决方案WPM系列
产品画册
点击下载
相关产品
白光干涉仪 AM7000系列
粗糙度
三维形貌
台阶高度
Learn More
白光干涉仪 AM8000系列
粗糙度
三维形貌
台阶高度
Learn More
晶圆三维检测 WM系列
粗糙度
台阶高度
三维尺寸
Learn More
封装基板3D自动检测设备 Elite Pro系列
粗糙度
平面度
三维形貌
Learn More
晶圆厚度/TTV/翘曲自动测量设备 APS系列
高精度
高速度
智能化
Learn More