优可测 晶圆三维量测 WPM系列的功能及优势：
主要功能：
1. 丰富测量功能：测量台阶高度、膜厚、关键尺寸、套刻精度等。
2. 客制化：可根据需求定制测量功能。
设备优势：
1. 测量精度高：形貌重复性 0.03nm，台阶高度准确性 0.3%，XY 最高重复精度 0.19um。
2. 检测效率高：超快扫描速度，是传统机型的 5 倍，全自动测量，离线分析方便。
3. 技术先进：白光干涉、光谱反射、光谱共焦三合一，全量程压电陶瓷扫描。
4. 硬件优良：采用高数值孔径白光干涉镜头、纳米级压电陶瓷，隔震效果好。
