薄膜厚度测量仪 AF系列

膜厚/周期性3D结构测量
  • 概述
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  • 产品规格
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  • 薄膜厚度测量仪 AF系列
    膜厚/周期性3D结构测量
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    超高精度 / 多层测量 / 场景丰富
    透明薄膜半透明薄膜多层膜厚
    偏差精准校正,实现超高分辨率;毫秒级别采样频率,比传统膜厚仪提升2~3倍更合适在线使用!支持Mapping模式,自动快速测量,单点时间<0.5s,兼容2-12寸晶圆片。
    产品特性



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