晶圆三维量测 WPM系列原理：
1. 白光干涉原理：运用相干光扫描成像方法，通过干涉图像层层叠加精准还原微观形貌，在任意放大倍率下均可实现 < 1nm 的检测精度。 2. 膜厚测量原理：不同波长光波穿透被测膜层时，上下表面反射光相位差变化，通过解析干涉图形计算被测膜层厚度
