晶圆三维检测设备 WM系列
半导体量检测设备
晶圆三维检测设备 WM系列
高精度 / 高速度 / 大视野 /大量程
粗糙度刻槽深度台阶高度多点位测量
1、 编程简单、界面简洁、一键测量 2、 自动输出报告 3、 可进一步分析3D形貌 4、 SDK开放,可客制化工具
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