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首页 - 产品中心 - 膜厚/周期性3D结构测量 - 衍射三维形貌仪 NM系列
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衍射三维形貌仪 NM系列

膜厚/周期性3D结构测量
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    衍射三维形貌仪 NM系列
    纳米级XYZ精度 / 原位测量 / 光栅测量
    光栅测量周期性结构测量CD尺寸测量
    通过光学正向建模算法得到的仿真光学参数，与实际测量的光学参数进行比对；利用LM算法、库匹配、神经网络算法， 提取出样品光栅的占空比、厚度与侧壁角等结构参数。
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