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产品中心

优可测产品中心涵盖白光干涉仪、闪测仪、激光位移传感器、光谱共焦、膜厚测量仪、3D测量显微镜，适用于半导体晶圆检测、精密加工、新能源等行业精密测量需求。

3D线激光测量仪 AR系列

激光位移传感器 SL系列

3D线光谱共焦传感器 AS系列

光谱共焦位移传感器 AP系列

二维尺寸测量

一键式影像测量仪 FM系列

一键式影像测量仪 FMX系列

粗糙度/台阶/三维形貌测量

白光干涉仪 AM-7000系列

白光干涉仪 AM-8000系列

2D/3D缺陷观测

超景深数码显微镜 AH系列

膜厚/周期性3D结构测量

薄膜厚度测量仪 AF系列

衍射三维形貌仪 NM系列

半导体量检测设备

晶圆三维量测设备 WPM系列

晶圆三维检测设备 WM系列

封装基板3D自动检测设备 Elite Pro系列

晶圆厚度/TTV/翘曲自动测量设备 APS系列

白光干涉仪 AM-7000系列

白光干涉仪 AM-7000系列

粗糙度微观形貌台阶高度平面度

白光干涉仪 AM-8000系列

白光干涉仪 AM-8000系列

粗糙度微观形貌台阶高度平面度

一键式影像测量仪 FM系列

二维尺寸形位公差高度差平面度

薄膜厚度测量仪 AF系列

透明薄膜半透明薄膜多层膜厚

超景深数码显微镜 AH系列

失效分析瑕疵/缺陷观测材料微观分析三维观察

3D线激光测量仪 AR系列

三维尺寸二维轮廓平面度高度差

激光位移传感器 SL系列

位移测量厚度测量振动测量

3D线光谱共焦传感器 AS系列

3D线光谱共焦传感器 AS系列

镜面反射在线高精度3D测量sdk可集成

光谱共焦位移传感器 AP系列

厚度测量位移测量透明材料测量

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