3D线光谱共焦传感器 AS系列

传感器

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产品特性

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3D线光谱共焦传感器 AS系列

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3D线光谱共焦传感器 AS系列

多层表面3D同时测量，精度可达0.05um

镜面反射在线高精度3D测量sdk可集成

通过白光分光成连续波长的光谱，每个波长聚焦在被测物体表面的特定位置，形成垂直焦平面，获取物体的三维形貌、纹理特征和光谱数据。

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产品特性

01

精度高、速度快

亚微米级分辨率，Z轴重复精度50nm

02

测量功能丰富易集成

丰富的3D测量功能，SDK接口简洁、兼容性高

03

测量不受材质和外界环境影响

可测量几乎所有材质，无需对待测物进行任何处理即可直接测量。内置测量和检测软件

04

一次性测量多层透明材料

基于光谱共焦技术，一次扫描实现多层形貌测量。

应用示例

高度/高度差

陶瓷基板-段差

车载摄像头-高度差

三维尺寸

手机屏幕边缘-曲率

PCB-金点检测

半导体芯片

平面度

PCB焊盘-高度&平面度

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3D线光谱共焦传感器 AS系列

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