传感器通过光谱色散与共焦原理,可同步捕获物体的三维形貌、表面纹理特征、光谱数据,并基于 2048 个 / 条轮廓的测量点实现精密尺寸与形态检测,核心测量指标覆盖:
文档明确列举了该传感器在多行业的具体测量案例,涵盖以下领域:
应用领域 | 具体测量对象 / 项目 | 测量核心需求 |
半导体行业 | 半导体芯片、晶圆相关结构 | 高精度尺寸检测、表面缺陷识别、层间结构验证,适配微米 / 亚微米级测量需求 |
电子制造行业 | PCB(印制电路板)金点 | 金点形态完整性、位置精度及微小尺寸测量,规避反光干扰导致的误差 |
消费电子行业 | 手机屏幕边缘轮廓、曲率 | 屏幕曲面形态的精准描绘,保障装配贴合度与外观精度 |
精密制造行业 | 陶瓷基板涂层 | 涂层厚度、段差(不同区域的高度差)测量,适配陶瓷等非均质材质 |
传感器具备强抗干扰性与多材质兼容性,可对各类复杂材料进行有效测量,包括:
结合其 “丰富测量工具” 与 “工业在线检测适配性”(节拍快、精度高),还可拓展至: