衍射三维形貌仪 NM系列
膜厚/周期性3D结构测量
衍射三维形貌仪 NM系列
纳米级XYZ精度 / 原位测量 / 光栅测量
光栅测量周期性结构测量CD尺寸测量
通过光学正向建模算法得到的仿真光学参数,与实际测量的光学参数进行比对;利用LM算法、库匹配、神经网络算法, 提取出样品光栅的占空比、厚度与侧壁角等结构参数。
×