优可测 衍射三维形貌仪的功能及优势：
主要功能：
1. 结构参数测量：提取样品光栅的占空比、厚度与侧壁角等结构参数。 2. 形貌测量：测量单层、多层形貌，可测覆膜结构。
设备优势：
1. 测量速度快：操作简单，非破坏性测试，可批量测量，单次测量时间 < 20s。 2. 精度高：三维形貌测量重复性 < 0.5nm，膜厚测量重复性 0.01nm。 3. 应用场景广：适用于光通讯、AR/VR、半导体等多个行业，可根据需求客制化。
