任何Fab生产的芯片,都会包含一定比例的次品。良品数量在全部生产的成品中所占的比例称为良率(yield)。芯片的良率是衡量芯片制造效率的核心指标,直接关系到芯片的成本、产能、市场竞争力甚至是企业的生存。

芯片良率的分类

半导体制造中的良率通常被分为前道工序良率、晶圆良率、后道工序良率和总良率。

其中,前道工序的良率,是送入生产线的wafer(晶圆)中,完成制造的比例。比如1个批次有1000片wafer下线,在制造过程中由于工艺/设备不稳定或破片损失了10片,最后有990片wafer完成制造进入封测,那前道工序的良率为99%。

晶圆良率是指1片完成了前道工序的wafer中,CP测试合格Die的比例。比如1片wafer上有80个Die,测试合格的Die有70个,那晶圆的良率为87.5%。

CP测试合格的芯片,会进行封装,封装完成后进行最终测试(Final Test, FT)。通过FT测试的芯片数量所占的比例称为后道工序良率。

将前道工序良率、晶圆良率、后道工序良率三者相乘就得到了这批次芯片的总良率。

影响芯片良率的主要因素

晶圆直径增大:从半导体制造的发展来看,为了提高生产效率,晶圆的直径从最早期的1英寸逐渐增加到了现在主流的12英寸。尽管每次增大晶圆直径都要更换产线上的制造设备,但是大尺寸晶圆上可以排布的芯片数量更多,单个芯片的成本降低,所以改造费用被分摊到每个芯片上,还是非常值得的。

大尺寸晶圆的另一个好处是晶圆上不完整Die的比例更小,有效芯片更多。8英寸的晶圆会存在14.5%的不完整Die,而12英寸晶圆上不完整Die的比例降低到10.8%,从而有效地提高了芯片的良率。

芯片尺寸增加:随着芯片功能越来越复杂,多年来芯片的尺寸一直在增加。如果芯片尺寸增加而不增加晶圆的直径,那么1片晶圆上有效芯片的比例就会降低。由于待测芯片的数量减少,芯片的良率也会随之变化。例如,1片晶圆上有100个芯片,其中10个因为缺陷失效,那晶圆良率为90%;如果1片晶圆上有10000个芯片和10个失效芯片,那晶圆良率可以达到99%。所以使用大尺寸晶圆可以平衡芯片尺寸增加对良率的影响,保证每片晶圆上都有足够数量的芯片。

工艺步骤增加:先进工艺为了实现更小的晶体管尺寸、更高的集成度和更好的性能,制造芯片的工艺步骤越来越多。从传统的平面工艺到FinFET,再到GAA,晶体管结构的设计和制造精度要求大幅提升,现在先进节点的制造需要上千道甚至几千道工艺步骤。工艺步骤越多,由于传输和工艺失误导致晶圆损坏的概率会更大,从而芯片的良率下降。

工艺成熟度:芯片的制造厂商必须迅速研发新工艺,导入新产品来参与市场竞争,这将会导致芯片的良率降低。一般来说,新工艺在发展的初期设备波动大、工艺参数范围宽、缺陷较多,导致良率通常低于50%。随着工艺越来越成熟,缺陷被解决,制造流程的稳定性、标准化提高,良率也会迅速提升。

芯片分Bin来提升良率

芯片分Bin是半导体制造中通过精细化分类与分级利用来提升良率的核心手段。分Bin本质是将wafer上性能、功能、电压、功耗等存在差异的芯片,按照设定的标准划分为不同档位(Bin),而不是简单将一个芯片地判定为“合格”或“报废”,从而最大化利用每一颗芯片的价值,提高芯片生产的良率。

例如,芯片设计时要求在2GHz的频率下工作,而生产出来的芯片有少部分在2GHz下不稳定,但可以在1.5GHz下稳定工作。如果直接报废这些芯片,就会造成浪费,制造成本也会提高。这时可以通过分Bin,将这部分芯片归为“1.5GHz Bin”,按照低性能版本销售,避免算入不良品中。

芯片良率直接决定芯片的制造成本、产能与交付能力、芯片的质量和可靠性,更能反应出企业的核心竞争力和在产业链上下游的博弈地位。能持续提升芯片良率,才能在现在半导体行业背景下保持竞争力。