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优可测白光干涉仪AM-8000,亚纳米精度,智能化与高效测量

2026-09-24

在精密制造领域,表面质量直接决定产品的性能与良率,测量手段能否跟上工艺精度的步伐,正成为越来越多企业关注的问题。

优可测推出的AM-8000白光干涉3D形貌测量系统,在光学性能、智能操控、测量稳定性与功能覆盖四个维度上提供了技术方案,该系统于2025年获得德国红点奖。从“测得准”,成功向“测得快”“用起来顺手”迈出一大步。

优可测白光干涉仪AM-8000系列

 

一、自动智能操控:自动对焦与调平降低操作门槛

传统白光干涉仪的操作难点在于:对焦需要经历粗对焦、调整PZT找干涉条纹、调整画面曝光等多步操作,调平需要正确放置标准块、调整左右高差等繁琐步骤,对操作人员的经验要求较高。

AM-8000在操作便捷性上实现了显著提升,让操作人员无需高经验也能快速上手。行业首创PreciTrack条纹自动对焦技术,一键即可完成自动对焦与自动找干涉条纹,对焦效率提升8倍。EquiDrive自动调平技术一键完成自动调平,效率提升7倍,调平角最大可实现±10°,大幅降低了操作门槛。

AM-8000配备了All in One一键控制器,集XYZ移动、XYZ轴锁止、光源调节、快慢调焦于一体,操作时间节省50%。系统还搭载了行业首创的对焦曲线功能,对待测样品进行对焦扫描后,系统自动绘制对焦曲线,可通过曲线峰值进行焦面判断。

二、稳定性与平台能力

测量环境的稳定性直接影响数据质量。AM-8000在结构设计上做了针对性优化,采用内置式气浮缓冲机构与独创低重心机构,隔振稳定性较常规设计提升2.7倍。

在平台方面,系统采用4自由度直驱电控平台,可加装旋转平台满足Mapping需求。支持方形、方环形、圆环形等多种拼接模式,以及自由模式、矩阵模式及Map模式三种多点位自动测量方式。

三、光学性能稳定发挥

AM-8000延续了优可测在白光干涉领域的技术积累,以多项行业首创技术构建起核心性能优势。

  • 亚纳米级精度:系统采用白光干涉原理,以"面"的方式获取样品三维形貌数据,配合纳米级压电陶瓷垂直扫描器件,最高扫描速度400μm/秒,实现高速高精度的数据采集。
  • 独创算法引擎:搭载业内首创的SST子采样技术与GAT加速技术,利用3000个GPU核心、超过10万亿次/秒的浮点运算能力,可瞬间完成高分辨率三维数据的图像校正、对比度增强与实时三维计算。
  • 光源:采用独特调制的LED白光光源,搭载高感光高速度传感器与弱光提取算法,以往无法捕捉的微弱光信号均可提取计算,低至0.02%反射率的高透明样品也能轻松采集。
  • 大角度特性:光滑面角度特性最高达53°,局部剖面倾角可达90°,覆盖从常规表面到陡峭结构的广泛测量需求。

目前,优可测白光干涉仪AM-8000已在精密光学、半导体、3C电子、新能源、医疗器械等多领域实现应用,经典AM-7000也已经在行业内积累了广泛的口碑,覆盖超光滑表面测量、透明膜层检测、精密零部件形貌分析等众多场景。从AM-7000到AM-8000,优可测以实际的技术落地回应精密制造对检测精度与效率不断提升的要求。

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