全自动非接触厚度测量仪（APS 系列）的测量能力涵盖核心测量参数、适用被测对象两大维度，具体如下：
设备可精准检测与厚度、形变相关的多项关键几何参数，包括：
其测量精度极高，以光谱共焦方式为例，厚度重复精度透射模式达 0.02μm，TTV 重复精度透射模式达 0.015μm，Bow、Warp 重复精度最低可达 0.3μm；分光干涉方式下，厚度测量极差为 0，TTV 测量极差仅 0.01μm
