优可测白光干涉仪主要功能:
1. 微观 3D 形貌测量:对精密器件及材料表面进行亚纳米级别测量,获取表面 3D 形貌。
2. 测量工具丰富:涵盖多种国际标准测量工具,可进行多种测量分析。
设备优势:
1. 精度高:最高 RMS 重复性可达 0.002nm,任意放大倍率下检测精度 < 1nm。
2. 速度快:最高扫描速度 400um / 秒,搭配算法可瞬间完成高点数云采集。
3. 大视野:可拼接测量,最大视野 300mmX300mm(选配)。
4. 功能多样:适用于多种行业,可进行在线和离线测量,SDK 可开放。
若有以下检测需求,可了解优可测 白光干涉仪AM系列:表面粗糙度、台阶、三维形貌、高度、平面度、曲率半径等;