表面粗糙度，是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷不平度，其两波峰或两波谷之间的距离（波距）很小（在1mm以下），它属于微观几何形状误差。表面粗糙度越小，则表面越光滑。粗糙度的测量方法主要如下：
比较法：通过与已知粗糙度的标准样板进行比较来评定表面粗糙度。
光切法：利用光切原理，将被测表面的微观形状用光的方法放大，从而测量表面粗糙度。
干涉法：利用光的干涉原理，通过干涉条纹的变化来测量表面粗糙度。
触针法：通过触针在被测表面上滑动，记录触针的垂直位移来测量表面粗糙度。
目前在精密制造行业，工程师使用较多的是干涉法和触针法。
测量精密加工件的表面粗糙度，推荐采用干涉法的白光干涉仪。
