优可测薄膜厚度测量仪采用的是光学干涉原理。其具体原理如下：
仪器发出不同波长的光波穿透样品膜层，膜的上下表面反射光被仪器接收，反射光相互之间会产生相位差，从而增强或减弱。当相位差为波长整数倍时，产生建设性叠加，此时反射率最大；相位差为半波长时，出现破坏性叠加，反射率最低；整数倍与半波长之间的叠加，反射率介于最大与最小反射之间。
这一相位差的变化，取决于薄膜的厚度d和折射率n。已知材料的光学参数(n,k)值，可以推导出这一光学系统的反射率R(λ,d,n,k)。
当在设备中给光学参数(n,k)赋值，可以计算得到反射率R，使其与设备测得的反射率R ′进行比对，通过强算法计算，当反射率曲线R与实测反射率R ′ 曲线完美拟合时，通过解析干涉图形，即可求得薄膜的厚度d。
理论上，只有透明或半透明材料制成的薄膜才可被光波穿透，从而可用薄膜厚度测量仪器测量。但对于一些不透光材料，如金属，当金属膜仅有几百纳米甚至几纳米薄时，也能被部分光波穿透，这时也能精确测量出膜的厚度。
优可测 薄膜厚度测量仪AF系列：快速测量多种材质的薄膜厚度；最多可测10层膜，精度可达0.1nm；适用于离线、在线、Mapping等多个场景。
