优可测参与相干扫描干涉仪器国家标准起草

近日，全国标准信息公共服务平台发布，国家标准计划《产品几何技术规范（GPS）表面结构：区域法 第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的设计与特性》（计划号：20263443-T-469）正式进入起草阶段。优可测（板石智能科技（深圳）有限公司）作为主要起草单位之一，参与该标准的制定工作。

该标准由全国产品几何技术规范标准化技术委员会（TC240）归口，主管部门为国家标准委，项目周期10个月。标准等同采用国际标准 ISO 25178-604:2025，发布后将替代现行的 GB/T 33523.604-2022《产品几何技术规范（GPS）表面结构区域法 第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性》。

相干扫描干涉术（CSI，常称白光扫描干涉术）是一种非接触式表面形貌测量方法。为规范采用这一方法的测量仪器，ISO于2013年发布ISO25178-604首版，并于2025年2月发布第二版。新版规定了用于区域法表面形貌测量的CSI仪器的设计和计量特性，并明确所述方法也适用于从区域形貌数据中提取轮廓进行测量。

与首版相比，新版删去ISO25178-600已规定的术语和定义，修订其余术语和定义，以提高清晰性并与相关ISO标准保持一致。新版还明确了仪器要求、计量特性和设计特征，并将原有的影响量规范性表格改为对常见测量误差源及其与计量特性关系的资料性说明。

为与国际新版保持一致，我国本次修订拟等同采用ISO25178-604:2025，替代GB/T33523.604—2022。

优可测团队长期从事白光干涉三维形貌测量设备的研发与制造，本次有幸受邀，作为主要起草单位，参与标准制定工作。

目前，优可测旗下的白光干涉仪AM系列，产品覆盖亚纳米级粗糙度、台阶高度、膜厚与面形等测量需求，垂直显示分辨率0.001nm，最高RMS重复性 0.002nm。

国内精密测量企业参与国家标准起草，是技术积累进入标准化环节的标志，其直接价值体现在测量数据的表达层面：当设备指标与国家标准、国际标准的术语和计量特性口径一致时，数据的可比性与可追溯性才有明确基础，跨实验室、跨批次的比对也才具备共同语言。优可测后续将持续参与表面结构相关标准的制修订工作。