玻璃基板 RDL试片需亚纳米级表面形貌检测、孔内粗糙度测量及线路线宽线高测量，传统设备精度不足、对高透明样品无法成像，测量效率难以匹配产业化进程。
采用白光干涉仪 AM 系列，闭环反馈压电陶瓷（PZT）Z 轴分辨率 0.03nm，230 万/500 万像素科研级相机极致还原亚纳米表面形貌。SST/GAT 算法 400μm/s 扫描，标准/非标大板方案灵活适配，良率从 60% 提升至 90% 以上。
