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微透镜阵列(MLA)在光通信中解决光束准直、耦合损耗等核心挑战,其表面粗糙度、曲率半径(ROC)、光斑尺寸(SPD)及非球面度(K 值)直接影响光散射损耗与耦合效率,随着 CPO 和硅光技术普及,检测要求日益严苛。
采用白光干涉仪 AM 系列,亚纳米级精度,一次扫描同步输出 MLA 表面粗糙度、ROC、SPD、K 值等多维度光学参数,满足高速光模块与数据中心互联的精密检测需求。