VCSEL/EEL 激光器端面尺寸与形貌偏差会直接增加光信号损耗和散射，影响光模块发射效率。需高精度三维检测以确保光信号高效传输。
采用白光干涉仪 AM 系列，亚纳米级三维形貌测量，精准检测激光器端面尺寸与表面形貌，保障光信号低损高效传输。
