发光层的表面形貌与粗糙度直接影响出光效率与器件可靠性。接触式测量会损伤脆弱的功能层，常规手段也难以同时评价图形化结构的高度与均匀性，导致工艺优劣缺少客观判据。
优可测白光干涉仪非接触测量外延层、荧光涂层及图形化结构的表面形貌与粗糙度，评估结构高度与均匀性；宽反射率适应能力（0.02%~100%）可覆盖从高反光金属电极到半透明涂层的多样样品。
