蓝宝石衬底对表面质量有极高要求，粗糙度需控制在亚纳米量级。若测量精度不足或重复性不佳，就无法判断 CMP 工艺是否真正达标，微小的表面缺陷会直接影响外延生长质量与器件良率。
优可测白光干涉仪 RMS 重复性最高可达 0.002 nm、显示分辨率 0.001 nm，可对蓝宝石抛光面进行高精度粗糙度测量（Sa/Ra），并识别残留的微观缺陷；测量依据 ISO 25178 标准，结果可溯源。
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