钇铁石榴石（YIG）晶体用于磁光与自旋电子学器件，其表面加工质量直接影响器件性能。抛光残留的划痕、凹坑若未能及时识别，会导致器件性能下降；而 YIG 属软质晶体，接触式测量极易造成二次损伤，贵重样品难以承受。
白光干涉仪对 YIG 抛光表面进行亚纳米级粗糙度测量与三维形貌成像，定量评价抛光工艺效果并识别微观缺陷，全过程非接触。
