ITO 薄膜表面粗糙度过大会降低载流子注入效率、影响光散射、降低透光率，甚至导致后续 SiO₂ 保护层出现针孔或剥离。光伏与显示面板对光学性能要求极高，粗糙度需亚纳米级精准把控。
采用白光干涉仪 AM 系列，亚纳米级精度，扫描速度 400μm/s，精准测量 ITO 薄膜表面粗糙度。非接触光学扫描不损伤薄膜表面，帮助厂家优化产品性能、实现降本增效。
