车规级 MEMS 器件需满足 AEC-Q103 等严苛标准，微观形貌缺陷可能导致结构失效，影响电池管理、自动驾驶等核心系统的安全性与可靠性。
采用白光干涉仪 AM系列，亚纳米级三维形貌检测，精准识别 MEMS 器件微观缺陷，保障量产一致性。400μm/s 扫描速度 + 500 万点云，SST+GAT 急速成像。
