激光陀螺仪谐振腔镜片的表面质量直接影响激光传输损耗与 Sagnac 效应灵敏度，任何纳米级缺陷均可能导致测量精度下降。超光滑镜面粗糙度检测需亚纳米级精度，传统接触式测量精度不足且可能损伤镜面，无法为研磨工艺改善提供可量化数据支撑。
采用白光干涉仪系列，搭配超光滑镜面样品独特算法，精准测量超光滑镜面亚纳米级表面粗糙度。非接触光学扫描不损伤镜片表面，数据可直接用于研磨工艺参数优化。
