凹面镜(汇聚)与凸面镜(发散)在卫星天线、雷达、广角镜等领域广泛应用,面形精度与粗糙度直接影响光学性能。
采用白光干涉仪 AM系列,亚纳米级精度,一次扫描同步获取表面粗糙度与面形 PV 值,涵盖国际通用标准测量工具,数据可对标。
双参数同步:粗糙度 + 面形 PV 值一次输出
亚纳米:RMS 0.002nm,球面反射镜全覆盖
通用标准:涵盖国际通用标准测量工具