菲涅尔透镜表面刻有同心圆纹理,面形复杂,传统接触式测量难以覆盖全貌,需高精度三维检测评估曲率与面形偏差。
采用白光干涉仪AM系列,任意倍率精度 <1nm,清晰呈现同心圆纹理面形,精准输出曲率半径与面形 PV 值。
复杂面形可测
曲率+PV 值同步输出