钙钛矿电池激光刻蚀后的毛刺影响安全性与转换效率；涂层厚度（仅约500nm）偏差影响转换效率；薄膜粗糙度影响短路电流、开路电压和填充因子。玻璃基底热胀冷缩翘曲、平米级大面积成膜进一步增加检测难度。
采用白光干涉仪AM系列，纳米级精度，搭配大量程高速纳米压电陶瓷，瞬间完成 500 万点云采集，清晰直观地检测微观三维形貌。一站完成 P1/P2 层涂层厚度测量、P2 层粗糙度检测、P3 层激光刻蚀后形貌分析与毛刺检测，覆盖钙钛矿电池生产全流程。
✅ 一机多用：膜厚、粗糙度、形貌分析一站覆盖
✅ 高精度：纳米级精度，RMS 0.002nm，500 万点云瞬间采集
✅ 全覆盖：P1/P2/P3 全流程，涂层+刻蚀+粗糙度同步检测
