微透镜阵列广泛应用于激光匀化、数字投影、消费电子成像等领域,曲率半径决定焦距位置,矢高影响成像均匀性与耦合性,粗糙度偏差可能导致部分微透镜失效甚至破坏整体成像效果,微小关键尺寸的快速精准测量是困扰厂商多年的痛点。
优可测白光干涉仪 AM 系列,一站式完成曲率半径、矢高(直径/高度)、粗糙度(实测 Ra 0.02701μm)、面型轮廓比对与 K 值计算四大检测项目。最高扫描速度 400μm/s,低至 0.02% 反射率的超滑镜片亦可精细采集成像。
✅ 全覆盖:曲率半径/矢高/粗糙度/面型四大项目一站检测
✅ 强角度:高 NA 镜头 + 弱光提取,微透镜边缘尺寸不遗漏
✅ 超灵敏:0.02% 反射率超滑表面亦可采集成像
✅ 高效率:400μm/s 扫描速度,SST 算法急速成像