液冷板表面粗糙度偏差 0.1μm 即可导致接触热阻增加 30% 以上。粗糙度过大则热流通道不畅，过小则无法刺穿导热胶层形成高熱阻。传统接触式粗糙度仪精度不足、仅输出二维轮廓，无法获取完整三维形貌，难以精准标定最佳粗糙度范围。
应用白光干涉仪 AM-7000 系列，一次扫描获取整个视场亚纳米级三维形貌，同步输出面粗糙度、线粗糙度、表面高度峰值与平均值。非接触测量，最高扫描速度 400μm/s，测量数据与进口仪器相当。
