LIBS 烧蚀坑需同时量化体积、台阶与形貌深度，微结构复杂，接触式轮廓仪难以全面测量，参数偏差影响工艺分析准确性。
应用白光干涉仪 AM 系列，一站式输出烧蚀坑三维形貌数据，适配材料分析与工艺参数优化场景。
多维度：体积、台阶、深度一站测量
非接触：光学扫描不损伤样品表面
高效率：扫描速度 400μm/s，快速完成形貌采集
