行业痛点
汞灯是深紫外光刻的核心光源，石英放电管需承受100–200个大气压的超高压环境，同时保证深紫外光高效透过。微米级的厚度偏差即会导致 DUV 波段透过率下降，厚度是生产中必须重点监控的数据。
解决方案
优可测光谱共焦传感器AP系列搭建的石英管厚度检测方案，具备优异的热稳定性与抗震性，满足超高压石英管的微米级厚度检测需求。优可测提供配套自动化与软件定制开发。
核心价值
高精度：线性精度±2μm，重复性±0.01mm。
高稳定：优异热稳定性与抗震性，保障长期测量。
快交付：需求到交付仅20天，配套自动化与软件定制。

马上咨询