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高精度坐标台在位移过程中,也需要精准定位。并且要求传感器在工作过程中,能不受环境温度影响,尽可能降低温漂。
优可测光谱共焦位移传感器AP系列,可实现高精度坐标台的高精度位移测量。
✅ 高精度:线性精度最高可达0.32μm,分辨率最高可达2nm。
✅ 高适配:不挑材质,超稳定持续测量。
✅ 小体积:侧面出光型可安装在狭小空间中。