行业应用
优可测提供专业、国际前沿的检测设备与技术服务,所涉及产品包括:传感器、视觉测量、粗糙度/台阶测量/三维形貌、显微镜、测量仪。
8寸SI-TTV
高精度 TTV
针对 8 寸硅片加工需求,APS 设备能高效完成厚度、TTV(总体厚度变化)、翘曲度(BOW/WARP)等参数检测,结合自动化扫描与数据分析功能,快速反馈抛光等工艺质量。
相关产品
晶圆厚度/TTV/翘曲自动测量设备 APS系列
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