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在半导体行业,金刚石成品在加工后,需要快速测量它的TTV、Bow、Warp、LTV等数值,用于评估作为中介层,光学窗口或键合片的性能如何快速、准确测量,是提高产能的关键步骤。
依托光谱共焦测量与光干涉测量技术,优可测APS设备可精准测量8mm金刚石晶体相关参数,并生成全尺寸 2D 热力图,3D Mapping图
✅ 精度:最小0.1um,Bow\Warp测量精度提升60%。
✅ 效率:扫描速度最大300mm/s。
✅ 稳定:双避震结构,全面隔离运动振动。