行业应用
优可测提供专业、国际前沿的检测设备与技术服务,所涉及产品包括:传感器、视觉测量、粗糙度/台阶测量/三维形貌、显微镜、测量仪。
6寸铌酸锂晶体-TTV
高精度 TTV
行业痛点
在光电领域,铌酸锂晶体成品在加工后,需要快速测量它的TTV、Bow、Warp、LTV等数值,用于评估抛光后的表面质量。如何快速、准确测量,是提高产能的关键步骤。

解决方案
依托光谱共焦测量与光干涉测量技术,优可测APS设备可精准测量 6 寸铌酸锂晶体相关参数,并生成全尺寸 2D 热力图,3D Mapping图

核心价值
✅精度:TTV精度高达0.1um,Bow\Warp测量精度提升60%。
✅效率:扫描速度最大300mm/s。
✅双避震结构:全面隔离运动振动。
相关产品
晶圆厚度/TTV/翘曲自动测量设备 APS系列
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