陀螺仪镜片粗糙度需纳米级把控,传统设备无法精准量化,粗糙度不达标影响陀螺仪灵敏度。
应用白光干涉纳米级测量技术,精准量化陀螺仪镜片粗糙度,适配ISO 25178标准。
✅ 高精度:纳米级测量,最高精度0.03nm
✅ 非接触:光学扫描,无物理接触,不损伤工件
✅ 多维度:同步采集多类数据,支撑研发优化