微流控芯片通道微小,传统设备无法量化通道形貌尺寸,参数偏差影响液体流动和检测精度。
应用白光干涉技术,精准量化微流控芯片通道形貌尺寸,自动定位测量区域。
✅ 非接触:光学扫描,无物理接触,不损伤工件
✅ 三维扫:全范围无盲区,采集完整三维形貌
✅ 多维度:同步采集多类数据,支撑研发优化
✅ 多功能:上百种测量工具,覆盖多维度测量参数,实现一机多用