行业应用
优可测提供专业、国际前沿的检测设备与技术服务,所涉及产品包括:传感器、视觉测量、粗糙度/台阶测量/三维形貌、显微镜、测量仪。

CMP-表面轮廓

高精度 三维形貌 One-stopwafer3Dmeasurementsolution
CMP工艺的轮廓测量:可直接观测Die面积大小级别的形貌,测量整片wafer上不同位置的均匀性,对不用位置的Dishing/Erosion进行精确测量
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