行业应用
优可测按行业分类展示高精度三维测量应用案例:新能源、半导体、3C电子、精密光学、汽车零部件、航天航空等行业精密检测方案。

CMP-表面轮廓

高精度 三维形貌 One-stopwafer3Dmeasurementsolution
CMP表面轮廓测量
CMP表面轮廓测量
优可测晶圆三维量测设备WPM系列对CMP工艺进行轮廓测量:可直接观测Die面积大小级别的形貌,测量整片wafer上不同位置的均匀性,对不用位置的Dishing/Erosion进行精确测量
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