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超光滑镜片平面度需纳米级把控,传统设备精度不足,平面度偏差影响成像效果,抛光成本高。
应用白光干涉超光滑专属算法,以Z轴分辨率量化平面度,精准把控抛光节点。
✅ 高精度:纳米级测量,最高精度0.03nm
✅ 非接触:光学扫描,无物理接触,不损伤工件
✅ 多维度:同步采集多类数据,支撑研发优化