行业应用
优可测提供专业、国际前沿的检测设备与技术服务,所涉及产品包括:传感器、视觉测量、粗糙度/台阶测量/三维形貌、显微镜、测量仪。

硅片-厚度/TTV

厚度 Spectralconfocaldisplacementsensor
行业痛点
硅片厚度测量时,在兼顾高精度的同时,往往需要通过多点测量,来计算出TTV等关键参数。传统测量方式,无法同时满足高精度,快速测量需求。

解决方案
优可测光谱共焦位移传感器AP系列,可实现对硅片的TTV、Bow、Warp等关键参数的测量。

核心价值
✅高精度:线性精度最高可达0.32μm,分辨率最高可达2nm。
✅高适配:不挑材质,超稳定持续测量。
✅小体积:侧面出光型可安装在狭小空间中。
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