硅片厚度测量时，在兼顾高精度的同时，往往需要通过多点测量，来计算出TTV等关键参数。传统测量方式，无法同时满足高精度，快速测量需求。
优可测光谱共焦位移传感器AP系列，可实现对硅片的TTV、Bow、Warp等关键参数的测量。
✅ 高精度：线性精度最高可达0.32μm，分辨率最高可达2nm。
✅ 高适配：不挑材质，超稳定持续测量。
✅ 小体积：侧面出光型可安装在狭小空间中。
