微透镜复眼结构微小复杂,传统设备无法捕捉细微形貌,难量化参数,影响产品性能一致性。
应用白光干涉双扫描模式,无盲区扫描微透镜复眼,精准量化三维形貌参数。
✅ 高精度:纳米级测量,最高精度0.03nm
✅ 非接触:光学扫描,无物理接触,不损伤工件
✅ 三维扫:全范围无盲区,采集完整三维形貌
✅ 效率高:快速批量扫描,实现全检替代抽检
✅ 多功能:上百种测量工具,覆盖多维度测量参数,实现一机多用