在产线上,球面镜的面型测量,挑战在于效率与精度的平衡,同时玻璃是高透射物体,传统接触式测量方式,易破坏表面。
优可测光谱共焦位移传感器AP系列,配合相关制具,可实现球面镜的面型测量和二维轮廓的快速测量。
✅ 高精度:线性精度最高可达0.32μm,分辨率最高可达2nm。
✅ 高适配:不挑材质,超稳定持续测量。
✅ 小体积:侧面出光型可安装在狭小空间中。