金属材料研磨纹路需量化,传统设备无法精准分析纹路均质性,影响产品一致性。
应用白光干涉技术,量化金属材料研磨纹路,分析纹路均质性,反馈工艺优化方向。
✅ 高精度:纳米级测量,最高精度0.03nm
✅ 非接触:光学扫描,无物理接触,不损伤工件
✅ 三维扫:全范围无盲区,采集完整三维形貌