激光加工技术是指利用高功率密度激光束与材料相互作用，实现切割、焊接、打孔及表面处理等工艺技术，已成为了高端制造领域的重要加工环节，它可以实现纳米级加工分辨率，覆盖半导体、3C、新能源、医疗等多个领域。

加工表面质量

决定产品品质

脉冲激光加工后，产品表面会出现纳米级到微米级的形貌起伏、烧蚀坑、微裂纹等，这些微观变化都有可能使部件失效、材料抗性下降等，需要精准把控其表面微观形貌和粗糙度。

这不仅是品质把控的重要环节，厂家也可以借此反向优化激光功率等加工参数，从根源提升产品品质和生产效率。

加工精度高

测量难度大

脉冲激光加工后，测量表面微观形貌和粗糙度存在多重技术难题：

• 微观结构复杂：脉冲激光加工的微孔、沟槽、烧蚀坑等微结构较为复杂，探针式轮廓仪难以测量整个面的微观三维形貌。
• 测量精度要求较高：不同区域的加工差异，可能会产生微裂纹、颗粒、烧蚀坑等复杂微小特征，接触式轮廓仪的探针分辨率不足；若是测量超光滑样品的表面粗糙度，接触式粗糙度仪的精度也难以满足。
• 材料物性干扰：高反射率的材料表面反射率会比较高，使用激光共聚焦显微镜测量容易受干扰；如果使是软质材料，接触式轮廓仪也难以测量。

那么，什么仪器可以高效、精准测量表面微观形貌和粗糙度呢？

以光为尺

优可测破解测量难题

面对脉冲激光加工后的测量需求，优可测白光干涉仪以亚纳米级精度，精准捕捉脉冲激光加工后的微观形貌特征和表面粗糙度，助力激光加工科研项目，帮助企业产品良率提升30%。

• 晶圆激光加工后深度测量：

晶圆大深度测量

晶圆高度差、粗糙度

• LIBS烧蚀坑形貌分析：

LIBS体积、台阶测量

LIBS烧蚀坑形貌深度

• 金属件激光加工形貌、台阶测量：

钢片激光加工形貌

器件形貌台阶测量

• 激光雕刻、加工后形貌、粗糙度测量：

激光雕刻形貌

加工器件表面粗糙度

优可测白光干涉仪最高重复性0.002nm，扫描速度400μm/s，满足多种测量场景需求，让每一处微观形貌变化都可被测量、每一组加工参数都被可优化，助力高端制造业更上一层楼。

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