封装基板3D自动检测设备Elite Pro系列,基于白光干涉原理,提供一站式封装基板三维检测解决方案。集超高测量精度(垂直分辨率0.08nm)、卓越检测效率(整板检测<3分钟)与强大的客制化能力于一身。它具备VC-D科研级隔震系统,确保测量稳定性,并支持针对特殊工艺的硬件与算法定制,能有效赋能客户先进工艺升级,在性能上对比国内竞品具有绝对领先优势,对比国外竞品则更具灵活性与定制性。