微透镜曲率半径需精准量化,传统设备测量易划伤镜片、精度不足,影响成像效果。
应用白光干涉非接触技术,精准量化微透镜曲率半径及三维形貌,避免镜片损伤。
✅ 高精度:纳米级测量,最高精度0.03nm
✅ 非接触:光学扫描,无物理接触,不损伤工件
✅ 三维扫:全范围无盲区,采集完整三维形貌
✅ 效率高:快速批量扫描,实现全检替代抽检
✅ 多功能:上百种测量工具,覆盖多维度测量参数,实现一机多用