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球面镜阵列二维轮廓需精准量化,传统设备测量效率低,参数偏差影响光学阵列成像效果。
应用白光干涉技术,批量扫描球面镜阵列,精准提取二维轮廓参数,提升检测效率。
✅ 高精度:纳米级测量,最高精度0.03nm
✅ 三维扫:全范围无盲区,采集完整三维形貌
✅ 效率高:快速批量扫描,实现全检替代抽检
✅ 多功能:上百种测量工具,覆盖多维度测量参数,实现一机多用